词汇表

13.56 MHz2.45 GHz27.12 MHz40 kHzABSAFMAgilonCCRFCDECF4COCCVDCVD-涂层DLCDRIEEPDMEPDM 型材ESCAGDOSGHz-等离子设备HMDSOICICPISMKHz 等离子设备LABSLABS 测试LIGALIGA 方法MEMSMFCMHz 等离子系统MicrowellsO 型圈O 型圈涂层OAUGDPPACVD (PECVD)PlasmaBeamPTFEPTFE 涂层PTFE 蚀刻PWISsccmSiliconSIMSslmSMDThornton 图TMMFTOF-SIMS下游等离子体不含 LABS不粘涂层不锈钢丙烯酸丙酮丝网印刷两亲化合物中子二氧化硅亲水性亲脂性介质阻挡放电价电子低压等离子体低压等离子体技术低温等离子体低温等离子体低温等离子设备供给单元俄歇效应保护层偏置电压先进复合材料光刻光刻光刻胶光刻胶灰化光子光学涂层光致抗蚀剂全自动六氟化硫共价键共混物共聚物内聚力分子前体物剥落助焊剂化学反应化学吸附化学蚀刻医疗器械半导体半导体模块技术半自动型单体印刷印刷方法印刷电路板印刷电路板印刷电路板基材卷对卷卷材涂层厚膜技术原子原子核去除双涂层反应性离子蚀刻 (RIE)反应性离子镀 (RIP)发生器各向同性各向异性合成合成纤维同位素吸收吸附吹膜四氟甲烷基态塑料塑料活化塑料涂漆塑料涂漆塑料涂覆塑料涂覆塑料清洗塑料电镀塑料精加工塑料表面增加润湿性增附剂复合材料多层电路大气层官能化宽高比密封件对特氟龙进行蚀刻导体电路导管小法兰层厚度工业预处理工艺时间工艺气体带隙常压等离子体干式蚀刻干式蚀刻方法干燥平均自由行程平行板反应器平面技术应变底切底漆废气开放式等离子体引线框架形成坑洼微喷砂微技术微波技术微波等离子体微波耦合微流体微滴定板微等离子体微粗糙化微系统技术惰性气体感应感应等离子体手术扩散层扫描电子显微镜 (REM)抗粘性抗菌清洗抛光剂拉伸试验接收器接枝聚合接枝聚合接触角接触角调整控制系统掩膜掺杂摇杆式活塞泵改变表面张力改善粘合性改善粘附性改善附着力改性敏感性料架旋片泵无定形易于清洁晶体晶片晶片蚀刻机有机硅有机硅清洁剂朗缪尔探针极性样品架核子植绒模制橡胶橡胶正性光刻胶正柱气体气体供给气体放电气相沉积气镇氖管氟化处理氢气等离子体氧化氧化铝氧气氨基酸氮化硅氮化钛水性涂料污染污染物汽车制造汽车漆油漆法拉第洁净室活化活性气体活性炭活性种测试墨水浸渍涂漆涂漆方法涂覆涂覆技术涂覆方法涂铝消毒涡轮分子泵润湿润湿性润湿测试润滑涂料液晶聚合物深拉伸添加剂技术清洗清洗铜清洗铝渗透湿法工艺溅射溅射蚀刻机溅射设备滑动性漆料粘附激发火焰喷涂火焰处理灭菌灰化 (Ashing)热塑性弹性体 (TPE)热塑性弹性体聚酰胺 (TPA)焊接焊线物态物理吸附物理气相沉积 (PVD)物理气相沉积法特斯拉特氟龙环氧树脂玻璃玻璃粘接玻璃纤维玻璃蚀刻玻璃转化温度电子电子伏特电子控制系统电子显微镜电弧电晕电晕处理电晕放电电极电正性等离子体电磁阀电离电荷交换碰撞电负性等离子体电路板疏水性疏脂性疲劳强度皮拉尼传感器真空真空泵真空等离子喷涂真空腔室石墨石墨烯石棉石棉分析石英玻璃石英玻璃舟皿砷化镓硅晶片硅烷硫酸铬硬 PUR硬质涂层硼硅玻璃碳化硅碳化钛碳氢化合物碳纤维磁控管磁电管磁镜磊晶磨损离子离子密度离子束蚀刻离子注入离子流测量传感器离子蚀刻离子键离子镀空气等离子体等离子体等离子体化学等离子体密度等离子体技术等离子体指示剂等离子体激发等离子体的颜色等离子体科技等离子体聚合等离子体腔室等离子剥离器等离子发生器等离子喷嘴等离子喷涂等离子喷涂涂层等离子喷砂处理等离子处理等离子工艺流程等离子应用等离子扩散等离子效应等离子棒等离子氮碳共渗等离子活化等离子涂覆等离子清洗等离子清洗器等离子清洗器等离子渗氮等离子渗硼等离子渗碳等离子灭菌等离子灰化机等离子电弧喷涂等离子监控等离子硬化等离子碳氮共渗等离子系统等离子蚀刻等离子蚀刻机等离子设备等离子超精细清洗筒状反应器筒状等离子蚀刻机粉末涂层粒子加速器粘合粘合剂粘合剂槽粘合力粘接粘附强度紫外线辐射纤维复合材料纱线处理纳米技术纺织品处理经改性的表面结合能网格切割测试罗茨泵耐刮性耐摩擦牢度耐洗牢度聚丁烯聚丙烯 (PP)聚丙烯腈聚乙烯聚二甲基硅氧烷 (PDMS)聚偏氟乙烯 (PVDF)聚全氟烷氧基聚合物 (PFA)聚合聚合物聚四氟乙烯 (PTFE)聚对二甲苯聚对苯二甲酸丁二醇酯 (PBT)聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)聚氟乙烯 (PVF)聚氯乙烯 (PVC)聚烯烃聚甲基丙烯酰亚胺 (PMI)聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)聚甲醛 (POM)聚碳酸酯聚苯乙烯 (PS)聚苯硫醚 (PPS)聚酰亚胺聚酰胺聚醋酸乙烯酯 (PVA)脆化脱模剂脱模剂残留物脱脂脱脂腐蚀腔室膜处理自偏置自动化自由基自由基位点自硬树脂芯片芯片实验室 (LOC,Lab-on-Chip)芯片封装范德华力荧光灯管薄膜技术蚀刻蚀刻印刷电路板蚀刻掩模蚀刻电路板表面处理表面张力表面技术表面改性表面氧化物表面活性剂表面涂层表面清洗表面硬化表面粗糙化表面精加工表面能解吸解聚设备组件负性光刻胶质子超疏水性超精细清洗器超高真空超高真空泵超高纯度 (UHP)转鼓转鼓处理转鼓清洗软 PUR载玻片辉光边缘角调整过蚀刻还原透射电子显微镜 (TEM)配件酸洗重组金属金属化针型阀铝氧化键合键合镀层防指纹防油扩散处理阳极阳极键合阳离子阴极阴极降阴离子阻断阻隔涂层附着力降低润湿性除去有机硅除胶渣除胶渣工艺陶瓷雷电放电静电电荷靶材预处理饱和高导磁合金高度精炼高度精炼高性能纤维复合材料高电压高电压发生器高电压放电高纯表面高频发生器

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