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10.5 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 ATTO 配有手动型、PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：
小批量生产、分析 (REM, TEM)、医疗技术、灭菌、研究和开发部门、考古、纺织技术、塑料技术
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玻璃（硼硅或石英玻璃）材质 ∅ 211 mm，长 300 mm
发生器 (40 kHz, 0 - 200 W)真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 211 mm， 长度：300 mm，容积：约 10.5 升）气体供给 针型阀
发生器 (40 kHz, 0 - 200 W)真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 211 mm， 长度：300 mm，容积：约 10.5 升）气体供给 MFC
发生器 （13.56 MHz，0 - 300 W，自动匹配）真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，约 Ø 211 mm， 长度：300 mm，容积：约 10.5 升）气体供给 针型阀
发生器 （13.56 MHz，0 - -300 W，自动匹配）带铰链门而非盖板的真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 211 mm， 长度：300 mm，容积：约 10.5 升）气体供给 针型阀
等离子体技术可为所有类型的污染物、所有基材和所有后续处理提供解决方案。此外，还能分解由分子构成的残留污染物。
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表面具有良好的润湿性，是确保在 涂漆、粘接、印刷 或者 键合 时与结合配偶体 粘附 的前提条件。
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