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低成本低壓等離子體等离子设备 Atto

适用于实验室和研究的性能强劲且Low Cost的解决方案

这款最大型的Low Cost等离子设备Atto,其腔室容积约为10升,专为研究、开发、分析及小批量生产等应用而设计。

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同类产品中最大的Low Cost等离子设备

Atto 的腔室容积约为 10 升,是 Low Cost 系列中体积最大的设备。它非常适合需要较大处理容积,同时希望从紧凑、经济型等离子设备中获益的用户。

可选配的Low Cost PC控制系统通过标准化的工艺程序实现便捷操作,并确保结果的可重复性。无论是等离子清洗还是表面活化——Atto为实验室和工业领域的众多应用提供了经济且灵活的解决方案。

Atto 低压等离子设备可广泛应用于需要对表面进行精细清洗或活化的任何场合。典型应用领域包括研发、分析、医疗技术、塑料技术、纺织技术以及小批量生产。

凭借其高度的灵活性,该设备既适用于实验室环境,也适用于接近生产环境的开发流程,并为专业等离子体表面处理提供了经济实惠的入门方案。

清潔

低成本低壓等離子體 實驗室設備 Atto 為各類基材的所有表面提供無菌微細清潔解決方案。等離子清潔技術能去除所有有機殘留物,且不會對元件造成化學或熱應力。

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活化

結合夥伴須承擔責任的前提,是表面須具備良好的潤濕性。在 低成本低壓等離子體 設備 Atto 中,等離子體活化會在清潔完成後立即進行,並能提高表面能。

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10升 腔室

Atto等离子设备配备10升的腔室容积,非常适合实验室中处理较为复杂的样品和部件。紧凑的工艺腔室确保了短暂的抽真空时间和较短的工艺周期,从而实现高效且经济的结果。 腔室由硼硅酸盐玻璃制成,具有出色的耐化学腐蚀性,从而确保了极高的纯度。凭借这些特性,Atto 特别适用于医疗技术领域以及对纯度要求极高的实验室和研究工作。 此外,位于腔室外部的电极可有效防止因材料溅射而产生的微量污染。凭借 Atto 周到的设计,Diener electronic 能够满足严苛的纯度要求,并为安全且可重复的工艺提供了必要条件。

经济实惠的Low Cost设备

Atto等离子系统将最先进的等离子技术与节省空间的外壳及易于操作的用户界面相结合。 凭借其紧凑的结构设计,Atto 可快速集成到实验室和研究环境中。它以节省空间的方式提供了高性能的等离子处理。 Atto等离子系统作为一种经济实惠的解决方案,为专业等离子表面处理提供了便捷的入门途径。低投资成本与低运营成本相结合,加上稳定的工艺质量,使其能够在要求苛刻的应用场景中实现经济高效的操作。

控制

尽管采用了最先进的技术,Atto仍配备了简洁明了的控制选项,其中包括基础PC控制系统,该系统使操作变得简单易行。在搭载Windows CE的控制单元中,所有工艺流程均已通过预设程序存储,因此无需具备相关知识或接受大量培训。 该设备不仅能实时显示当前运行状态,还具备清晰直观的程序管理功能。其简便的操作方式不仅让用户能够轻松入门等离子技术,还能实现高效作业。

技术数据

外壳尺寸

台式

宽度
425-525 mm
高度
257 mm
深度
420 mm

控制装置

Low Cost PC (Windows CE)

半自动

真空室

硼硅玻璃, 铰链门
⌀ 211 mm x 深 300 mm; 卷 约 10 升

发电机

40.00 千赫 | 功率输出 0 - 200 W

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W

供气

MFC (Mass flow controller)

针型阀

电极

真空室外部

压力测量

皮拉尼传感器

电源

230 V | 16 A

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表面处理服务

型号变体

Atto

半自动 kHz

外壳尺寸
台式

宽 425 mm x 高 257 mm x 深 420 mm

控制装置

半自动

真空室

硼硅玻璃 , 铰链门
⌀ 211 mm x 深 300 mm
卷 约 10 升

发电机

40.00 千赫 | 功率输出 0 - 200 W

供气

2 x 针型阀

电极

真空室外部

压力测量

皮拉尼传感器

电源

230 V | 16 A

Atto

半自动 MHz

外壳尺寸
台式

宽 525 mm x 高 257 mm x 深 420 mm

控制装置

半自动

真空室

硼硅玻璃 , 铰链门
⌀ 211 mm x 深 300 mm
卷 约 10 升

发电机

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W

供气

2 x 针型阀

电极

真空室外部

压力测量

皮拉尼传感器

电源

230 V | 16 A

Atto

PC kHz

外壳尺寸
台式

宽 525 mm x 高 257 mm x 深 420 mm

控制装置

Low Cost PC

真空室

硼硅玻璃 , 铰链门
⌀ 211 mm x 深 300 mm
卷 约 10 升

发电机

40.00 千赫 | 功率输出 0 - 200 W

供气

2 x MFC (Mass flow controller)

电极

真空室外部

压力测量

皮拉尼传感器

电源

230 V | 16 A

Atto

PC MHz

外壳尺寸
台式

宽 525 mm x 高 257 mm x 深 420 mm

控制装置

Low Cost PC

真空室

硼硅玻璃 , 铰链门
⌀ 211 mm x 深 300 mm
卷 约 10 升

发电机

13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W

供气

2 x MFC (Mass flow controller)

电极

真空室外部

压力测量

皮拉尼传感器

电源

230 V | 16 A

外壳尺寸
控制装置
真空室
发电机
供气
电极
压力测量
电源

FAQ 常见问题

使用等离子设备Atto可以活化哪些表面?

使用Diener electronic公司的等离子设备Atto,可对塑料、金属、玻璃、陶瓷和纺织品等表面进行活化处理。

Atto可以用来处理哪些内容?

使用Diener electronic的Atto,可以处理所有耐真空的材料。

可以使用Atto设备进行涂层处理吗?

遗憾的是,使用这款来自Low Cost系列的Atto设备,无法对表面进行涂层处理。

可以用Atto这套设备进行蚀刻吗?

遗憾的是,使用这款来自Low Cost系列的Atto设备,无法进行表面蚀刻。

Atto中可以使用哪些气体?

在Atto中以及一般低压等离子体中,可使用以下气体:O₂、N₂、Ar、室内空气、CO₂、H₂O蒸汽和甲烷气 

Atto能否处理对温度敏感的部件?

是的,由于这是冷等离子体,因此Diener electronic的低压等离子体设备Atto适用于对温度敏感的元器件。

Atto 该设备能否处理磁性部件?

Diener electronic 的 Atto 真空腔室也能很好地处理磁性元件。

对静电敏感的元件可以使用Atto进行处理吗?

是的,使用Atto的低压等离子体可以实现这一点。如有需要,我们的工艺部门可为您进行测试。

Atto的真空室中,通常具有什么样的典型压力范围?

该Atto的典型压力范围为可调的0.1至1.0毫巴,具体取决于所设定的低压等离子体工艺。 

Atto在真空室中的典型工艺温度是多少?

Diener electronic 的 Atto 通常在室温至约 80 °C 范围内运行——具体温度取决于组件、腔室类型、工艺时间和装载量。如需更高温度,可向 Diener electronic 提出申请,通过加热元件实现。

Atto在软件方面支持哪些连接方式?

对于Atto的Low Cost控制系统,无法进行连接。

Atto这款GHz设备的工作频率是多少?

GHz系统Atto的发电机使用2.45 MHz的ISM频段——其辐射强度与微波炉相当。请咨询有关心脏起搏器佩戴者的安全规定。 

Atto等离子设备适合连续运行吗?

这款用于科研和技术的Low Cost设备Atto,不适合连续运行。

Atto是否需要排气过滤器?

是的,无论使用何种燃气,所有设备都必须连接到有效的排气系统。 这些设备会产生氮氧化物、废气、细微的油雾(对于燃油泵而言)等,这些物质绝不能吸入;此外,这些气体通常呈酸性,因此会加速周围部件、机器和设备的锈蚀。

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