技术数据
Atto
半自动 千赫 / 半自动 兆赫
尺寸
宽: 525 mm 高: 257 mm 深: 420 mm
真空室
硼硅玻璃
圆形, 铰链门
Ø: 211 mm
深: 300 mm
容积 10.5 L
供气
2 x 针阀
发电机
40 千赫 | 功率输出 0 - 200 W
13,56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W
电极
电极位于真空室外部
控制装置
半自动控制装置
电源
230 V | 50 - 60 Hz
压力测量
皮拉尼
泵
最小吸入量 6 m³/h