磊晶

晶体基材上可能会生长沉积涂层,其以基材的 晶体结构 为基础,并形成晶体涂层。其前提条件是,沉积材料能够以类似于基材的形式发生结晶。在 PVD涂覆 硅晶片 时经常会出现磊晶。

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