控制系统

• 通过 PC 进行控制
• PC 控制系统内装在设备中
• 操作系统 Windows 10 IoT，其他系统请咨询
• 压缩空气监控器
• 用 10 个子程序便可以调整 100 个自动工艺流程（例如：用氧气清洗 10 分钟，然后用氢气进行还原）
• 输入备注
• 以 Excel 文件和图表的形式保存工艺数据
• 网卡 – 可在网络计算机上自动导出数据
• 在 Windows 环境下操作程序
• 两种模式：- 手动操作：通过对话框手动操作设备 - 自动操作：自动运行事先编写好的工艺流程
• 参数：抽吸压力（直至工艺流程开始）、最长抽吸时间、气体质量流量（比例）、工艺压力、稳定时间、高频功率、高频的工艺持续时间、冲洗时间、通风时间
• 误差限制，针对：质量流量、工艺压力、高频功率
• 通过 PI/PID 调节器进行数字式压力调节，也就是说，不仅可以控制质量流量，还可以实现真正的压力稳定
• 压力调节是实时进行的，并贯穿整个工艺时间
• 在实时模式下显示所有程序步骤
• 安全相关设置，例如：出于安全原因锁定的控制元件：只要未打开腔室门，就不允许进行抽吸
• 接收器：将显示门开关、过热开关和真空开关的状态
• 输入批号和操作员
• 维护间隔时间可根据运行小时数自定义设置
• 压力调节的敏感度可设置
• 可对所有报警显示进行归档
• 详细的错误信息，例如：气体 1 的实际气体流量与额定值存在显著差异
• 也可以提供全屏模式的图表
• 只有输入了密码，才可以进行编程（生产安全）
• 在数据存档中，可随时查看所有保存的工艺流程，包括文件信息
• 可对转鼓的间隔时间作出规定（例如：转动 60 秒，停止 30 秒，转动 60 秒，停止 30 秒）
• 气源：可以预先给定各个质量流量控制器 (MFC's) 的额定值，并显示当前实际值
• 设置与工艺流程无关，但是与设备和客户有关（气体类型、质量流量控制器、压力调节器、冷却水、存储器的位置和类型）
• 语言选择，标准：德语和英语，也可以根据需要选择其他语言
• 信号塔（红色和绿色信号）。

可根据需要提供以下选项：

• 如果要管理不同电极，则可以选择电极监控功能。（例如： 转鼓/多层电极）
• 工艺流程结束时发出声音信号
• 对蒸发器进行定时
• 调节温度显示
• 显示当前冷却水温度
• 远程诊断
• 通过商业上通用的打印机打印记录报告。打印机不包含在供货范围之内
• 可调整图表布局
• 直流偏置电源的监控器
• 条形码读取器
• 高频发生器可以产生脉冲
• 温度显示器

• 该设备具有 7“ 的 TFT 显示器，带触摸屏。通过 Windows Look & Feel 中的全图形化 彩色界面，可简单直观地进行操作。较之于无触摸功能的普通 LCD 显示器，其不再需要任何小键盘，例如：用于多级操作的功能按钮
• 操作系统 Windows CE
• 有两种操作模式：自动和手动
• 手动模式：
  • 只要点击相关符号，便可打开和关闭单个装置，例如：阀
  • 点击一个组别，例如：发生器，便可输入额定值
  • 出现一个上下文对话框，在该对话框中可通过配有虚拟 +/- 开关的触摸屏修改额定值
• 自动模式：
  • 为了创建程序，提供了 50 个程序位置
  • 可直接通过设备上的触摸屏进行编程。无需任何外部编程器或者 PC
  • 可以给每个程序分配一个程序名
  • 在曲线图表中显示相关工艺变量的时间变化曲线
• 在主界面中显示当前工艺步骤和过去的工艺时间
• 通过闪烁 LED 和警报列表显示警报，以进行简单的故障诊断
• 多种语言（德语/英语），可应要求提供其他语言
• 以太网接口，远程访问
• 具有一个 USB 接口，其可用于将程序、警报、工艺值等保存到 U 盘上
• 该控制系统没有任何可旋转组件，也就是说没有任何硬盘和风扇，所以其是免维护的
• 设备的启动时间非常短
• 可以将所采集的工艺数据以文本格式保存到设备中的存储卡上，并复制到 U 盘上。可以通过例如 Excel 格式直接读取所保存的数据（仅在订购数据记录选项的时候提供）
• 通过集成的以太网接口，可以通过外部 PC 远程控制触摸屏 PC（仅在订购远程控制选项的时候提供）
• 针对 Mhz 发生器，我们建议使用 Full PC 控制系统