控制系统

针对等离子设备

设置用于执行等离子工艺流程的参数。针对 Diener electronic 的等离子设备,提供有以下可选择用于所有设备型号的控制系统。

Full PC 控制系统

  • 通过 PC 进行控制
  • 操作系统 Windows 10 IoT
  • 两种模式:手动操作:通过对话框手动操作设备。自动操作:自动运行事先编写好的工艺流程
  • 用 10 个子程序便可以调整 100 个自动工艺流程
  • 自由参数:抽吸压力(直至工艺流程开始)、最长抽吸时间、气体质量流量(比例)、工艺压力、稳定时间、高频功率、高频的工艺持续时间、冲洗时间、通风时间

 

有关 Full PC 控制系统的更多信息

  • 通过 PC 进行控制
  • PC 控制系统内装在设备中
  • 操作系统 Windows 10 IoT,其他系统请咨询
  • 压缩空气监控器
  • 用 10 个子程序便可以调整 100 个自动工艺流程(例如:用氧气清洗 10 分钟,然后用氢气进行还原)
  • 输入备注
  • 以 Excel 文件和图表的形式保存工艺数据
  • 网卡 – 可在网络计算机上自动导出数据
  • Windows 环境下操作程序
  • 两种模式:手动操作:通过对话框手动操作设备 自动操作:自动运行事先编写好的工艺流程
  • 参数:抽吸压力(直至工艺流程开始)、最长抽吸时间、气体质量流量(比例)、工艺压力、稳定时间、高频功率、高频的工艺持续时间、冲洗时间、通风时间
  • 误差限制,针对:质量流量、工艺压力、高频功率
  • 通过 PI/PID 调节器进行数字式压力调节,也就是说,不仅可以控制质量流量,还可以实现真正的压力稳定
  • 压力调节是实时进行的,并贯穿整个工艺时间
  • 在实时模式下显示所有程序步骤
  • 安全相关设置,例如:出于安全原因锁定的控制元件:只要未打开腔室门,就不允许进行抽吸
  • 接收器:将显示门开关、过热开关和真空开关的状态
  • 输入批号和操作员
  • 维护间隔时间可根据运行小时数自定义设置
  • 压力调节的敏感度可设置
  • 可对所有报警显示进行归档
  • 详细的错误信息,例如:气体 1 的实际气体流量与额定值存在显著差异
  • 也可以提供全屏模式的图表
  • 只有输入了密码,才可以进行编程(生产安全)
  • 在数据存档中,可随时查看所有保存的工艺流程,包括文件信息
  • 可对转鼓的间隔时间作出规定(例如:转动 60 秒,停止 30 秒,转动 60 秒,停止 30  秒)
  • 气源:可以预先给定各个质量流量控制器 (MFC's) 的额定值,并显示当前实际值
  • 设置与工艺流程无关,但是与设备和客户有关(气体类型、质量流量控制器、压力调节器、冷却水、存储器的位置和类型)
  • 语言选择,标准:德语和英语,也可以根据需要选择其他语言
  • 信号塔(红色和绿色信号)。

 

可根据需要提供以下选项:

 

  • 如果要管理不同电极,则可以选择电极监控功能。(例如: 转鼓/多层电极)
  • 工艺流程结束时发出声音信号
  • 对蒸发器进行定时
  • 调节温度显示
  • 显示当前冷却水温度
  • 远程诊断
  • 通过商业上通用的打印机打印记录报告。打印机不包含在供货范围之内
  • 可调整图表布局
  • 直流偏置电源的监控器
  • 条形码读取器
  • 高频发生器可以产生脉冲
  • 温度显示器

 

PLC 控制系统

  • 通过 PC 进行控制
  • 制造商:Siemens
  • 两种模式:手动操作:通过对话框手动操作设备。自动操作:自动运行事先编写好的工艺流程
  • 用 10 个子程序便可以调整 100 个自动工艺流程
  • 自由参数:抽吸压力(直至工艺流程开始)、最长抽吸时间、气体质量流量(比例)、工艺压力、稳定时间、高频功率、高频的工艺持续时间、冲洗时间、通风时间

 

Basic PC 控制系统

  • 为了控制我们的设备,我们开发了一款新软件,此软件根据对等离子体技术的特殊要求进行了调整
  • PC 控制系统以 Windows CE 为基础
  • 该设备具有一个带触摸屏的 3.5" TFT 显示器(可选 7")
  • 通过此软件,既可以在 手动模式下也可以在自动模式下运行工艺流程
  • 在此控制系统中可以保存 50 个程序
  • 自由参数:抽吸压力(直至工艺流程开始)、最长抽吸时间、气体质量流量(比例)、工艺压力、稳定时间、高频功率、高频的工艺持续时间、冲洗时间、通风时间

 

有关 BASIS PC 控制系统的更多信息

  • 该设备具有 3.5“ 的 TFT 显示器,带触摸屏(可选 7“)。通过 Windows Look & Feel 中的全图形化 彩色界面,可简单直观地进行操作。较之于无触摸功能的普通 LCD 显示器,其不再需要任何小键盘,例如:用于多级操作的功能按钮
  • 操作系统 Windows CE
  • 有两种操作模式:自动和手动
  • 手动模式:
    • 只要点击相关符号,便可打开和关闭单个装置,例如:阀
    • 点击一个组别,例如:发生器,便可输入额定值
    • 出现一个上下文对话框,在该对话框中可通过配有虚拟 +/- 开关的触摸屏修改额定值
  • 自动模式:
    • 为了创建程序,提供了 50 个程序位置
    • 可直接通过设备上的触摸屏进行编程。无需任何外部编程器或者 PC
    • 可以给每个程序分配一个程序名
    • 曲线图表中显示相关工艺变量的时间变化曲线
  • 主界面中显示当前工艺步骤和过去的工艺时间
  • 通过闪烁 LED 和警报列表显示警报,以进行简单的故障诊断
  • 多种语言(德语/英语),可应要求提供其他语言
  • 以太网接口,远程访问
  • 具有一个 USB 接口,其可用于将程序、警报、工艺值等保存到 U 盘
  • 该控制系统没有任何可旋转组件,也就是说没有任何硬盘和风扇,所以其是免维护的
  • 设备的启动时间非常短
  • 可以将所采集的工艺数据以文本格式保存到设备中的存储卡上,并复制到 U 盘上。可以通过例如 Excel 格式直接读取所保存的数据(仅在订购数据记录选项的时候提供)
  • 通过集成的以太网接口,可以通过外部 PC 远程控制触摸屏 PC(仅在订购远程控制选项的时候提供)
  • 针对 Mhz 发生器,我们建议使用 Full PC 控制系统

旋转开关控制系统

  • 借住旋钮可以非常简单地操作等离子设备
  • 根据操作方式,进行半自动或全自动控制(直至等离子处理)
  • 向右旋转至“工艺流程”点时,工艺流程将会全自动运行结束
  • 手动进行通风(Flood 开关位置)
  • 自由参数:工艺时间、功率、气体类型、压力

 

半自动控制

  • 半自动控制流程
  • 气流等离子工艺流程通风必须手动启动
  • 自由参数:工艺时间、功率、气体类型、压力

 

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