表面粗糙化

表面粗糙化主要用于增大表面积, 从而便于粘附以后所涂覆的涂层,并在粘结时加以改善。在粗糙化的过程中,将同时去除作为分离层发挥作用的表面层。
表面粗糙化是机械加工方法的传统应用,特别是打磨或喷砂。对于机械粗糙化方法而言,彻底清除打磨残留物(打磨碎屑)可能存在问题,相反其还会对涂层的粘附造成不良影响。
有些情况下,还可以通过湿式化学蚀刻方法对表面进行粗糙化。可在低压等离子体中通过等离子蚀刻对表面进行粗糙化。一种特别有效的方法便是,通过在氩气 (Ar) 等离子体中的离子轰击进行微喷砂处理。此方法也被称为离子蚀刻或者物理蚀刻,因为化学反应在这种方法中未起到任何作用。微喷砂处理适用于几乎所有表面(非选择性),并具有较强的各向异性。如同采用机械粗糙化方法时一样,在进行 微喷砂 时也要去除污染物。尽管通过物理蚀刻进行微喷砂处理时的常见粗糙深度低于 1 µm,但是与机械方法相比,其可获得与之相当甚至更强的表面积增大效果。

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