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2.6 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 ZEPTO 配有手动型、PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域: 小批量生产, 分析 (REM, TEM), 医疗技术, 灭菌, 研究和开发部门, 考古, 纺织技术, 塑料技术
频率：
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。
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等离子体技术可为所有类型的污染物、所有基材和所有后续处理提供解决方案。此外，还能分解由分子构成的残留污染物。
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表面具有良好的润湿性，是确保在 涂漆、粘接、印刷 或者 键合 时与结合配偶体 粘附 的前提条件。
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发生器 (100 kHz, 0 - 30 W)真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 105 mm。 长度：200 mm， 容积：约 1.7 升）气体供给 针型阀
发生器 (40 kHz, 0 - 100 W)真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 105 mm。 长度：300 mm，容积：约 2.6 升）气体供给 针型阀
发生器 (40 kHz, 0 - 100 W)真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 105 mm。 长度：300 mm，容积：约 2.6 升）气体供给 MFC
发生器 （13.56 MHz, 0 - 30 W，固定匹配）真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 105 mm。 长度：200 mm，容积：约 1.7 升）气体供给 针型阀
发生器 （13.56 MHz, 0 - 300 W，自动匹配）带铰链门而非盖板的真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 105 mm。 长度：300 mm，容积：约 2.6 升）气体供给 针型阀
发生器 （13.56 MHz, 0 - 300 W，自动匹配）带铰链门而非盖板的真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 105 mm。 长度：300 mm，容积：约 2.6 升）气体供给 MFC
发生器 （13.56 MHz，0 - 300 W，自动匹配）带铰链门而非盖板的真空腔室 （圆形，硼硅玻璃，盖板，约 Ø 105 mm。 长度：300 mm，容积：约 2.6 升）气体供给 MFC
发生器 （40kHz，0 - 100 W，自动匹配）真空腔室 RIE （圆形，铝，约 Ø 190 mm。 高度：60 mm，容积：约 1 升）气体供给 针型阀
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