Zepto 360° 视图

Zepto (Low Cost / Low Budget)

低压等离子设备(等离子清洗器)

2.6 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 ZEPTO 配有手动型、PCPCCE 控制系统,主要用于以下领域: 

  •     小批量生产
  •     分析 (REM, TEM)
  •     医疗技术
  •     灭菌
  •     研究和开发部门
  •     考古
  •     纺织技术
  •     塑料技术

等离子处理方法

材料清洗

等离子体技术可为所有类型的污染物、所有基材和所有后续处理提供解决方案。此外,还能分解由分子构成的残留污染物。

有关清洗的更多信息

材料活化

表面具有良好的润湿性,是确保在 涂漆、粘接、印刷 或者 键合 时与结合配偶体 粘附 的前提条件。

有关活化的更多信息

技术数据

基本装备

  •     根据组件/选装件,外壳规格会有所不同
  •     腔室容积:根据具体版本 1.7 - 2.6 升
  •     供电电源:230 V

气体供给

  •     针型阀
  •     质量流量控制器 (MFC)

真空腔室

  •     带盖圆形石英玻璃 (UHP)(大约 ∅ 105 mm,长 200 mm 或长 300 mm)
  •     带盖圆形硼硅玻璃 (UHP)(大约 ∅ 105 mm,长 200 mm 或长 300 mm)
  •     W6(约 ∅ 160 mm,长 180mm)

装载件

  • 产品支架:铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

  • 单层或多层
  • 真空腔室外部的一对电极

控制系统

  •     手动
  •     PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
  •     PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
  •     旋转开关

压力测量

  •     Pirani

计时器

  • 数字 
  • 模拟 

发生器

频率:

  • 40 kHz:功率 0 - 100 W
  • 13.56 MHz:功率 0 - 200 W

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。

ZEPTO 型号

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