Zepto (Low Cost / Low Budget)

•     针型阀
•     质量流量控制器 (MFC)

•     带盖圆形硼硅玻璃 (UHP)（大约 ∅ 105 mm，长 200 mm 或长 300 mm）
•     W6（约 ∅ 160 mm，长 180mm）

• 产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃

• 单层或多层
• 真空腔室外部的一对电极

•     手动
•     Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)

•     Pirani

• 数字 
• 模拟 

频率：

• 40 kHz：功率 0 - 100 W
• 13.56 MHz：功率 0 - 200 W

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。