筒状等离子蚀刻机

进行各向异性 等离子蚀刻 时具有较高的蚀刻速率，特别是在 筒状反应器 中（具有高频激发功能， 蚀刻速率可达到 MHz 范围）。故此， 等离子设备（主要或专门用于 等离子蚀刻 ），首选设计为筒状反应器。筒状等离子蚀刻机用于例如进行 光刻胶灰化 。详情参见 ⇒ 筒状反应器