GHz-等离子设备

等离子设备，其通过 等离子发生器 在几千兆赫的频率范围内运行。对于技术目的而言，可在该范围内释放 ISM 频率 2.45 MHz 。该频率对应于微米范围内的波长，这种设备因此也被称作微波等离子设备，以便能够和以 MHz 或 kHz 范围内的频率工作的 RF（射频）和 LF（低频）设备及发生器加以区分。微波激发不是通过 电极实现的，而是通过分布在 等离子体 外部的 磁控管