GHz-等离子设备

等离子设备,其通过 等离子发生器 在几千兆赫的频率范围内运行。对于技术目的而言,可在该范围内释放 ISM 频率 2.45 MHz 。该频率对应于微米范围内的波长,这种设备因此也被称作微波等离子设备,以便能够和以 MHz 或 kHz 范围内的频率工作的 RF(射频)和 LF(低频)设备及发生器加以区分。微波激发不是通过 电极实现的,而是通过分布在 等离子体 外部的 磁控管

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