氢

双原子气体 (H₂)，在等离子体中用作 工艺气体 。由于质量较小，所以仅具有较弱的 溅射效果，但是在去除可还原的表面层（例如：金属上的表面氧化物）时具有良好的效果。最轻的化学元素，其由一个 质子和一个 电子 组成。重 氢 （氘）和超重氢（氚）在原子核中包含一个或两个额外的 中子。