双原子气体 (H2),在等离子体中用作 工艺气体 。由于质量较小,所以仅具有较弱的 溅射效果,但是在去除可还原的表面层(例如:金属上的表面氧化物)时具有良好的效果。最轻的化学元素,其由一个 质子和一个 电子 组成。重 (氘)和超重氢(氚)在原子核中包含一个或两个额外的 中子

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