自由基
自由基是在分子型 工艺气体中形成的，但也会在暴露于 等离子体 中的基材上形成。原因尤其在于 紫外线辐射 （ 等离子体）的电离作用。此紫外线辐射会分裂分子键，从而分裂出单个原子或分子的一部分。此时，分开的两部分便拥有了一个未占用的键，其想要尽快被重新填满。故此，其具有较高的反应性，因为其会立即与其影响范围内的与开放键匹配的下一个粒子发生反应。这种已分开并含开放键的分子部分被称为自由基，开放键被称为 自由基位点。通过自由基的反应和互相链接，可以产生聚合物，通过 工艺气体 和基材的自由基的反应，可以产生新的分子，这些分子会转化为气相，并在基材上留下相应的缺陷。以下工艺便是如此发挥作用的：化学 等离子蚀刻 或 等离子清洗。
