层厚度

层厚度（介于几个原子层之间），也就是远不到 1 nm 的一半，甚至仅几个 µm，可通过 等离子涂覆 进行涂覆或者通过 蚀刻 进行剥离。很多情况下，非常薄的涂层能够特别有效的发挥作用，故此其为首选，例如：耐磨损的  DLC-层或者针对性的涂覆较薄的金属氧化层，其能够防止更深的区域发生反应。