真空泵

真空技术中以及 等离子体技术 领域中最常用的泵类型是机械式油润滑型 旋片泵。使用这种旋片泵，可实现高达 10^-3 mbar 的大气压。如要产生超高真空，则通常需要使用旋片泵来产生预真空。