TOF-SIMS

飞行时间二次离子质谱分析 (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) 的缩写,是一种表面分析方法,采用这种方法时,表面会受到脉冲 离子束的轰击。根据所发射二次离子的飞行时间可精确测定其质量,从而确定其元素种类。

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