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启用了 ISM 频率，该频率用作等离子发生器和微波家电的工作频率。所产生的 等离子体 由于频率的原因被称为微波等离子体。此 微波辐射 与激发频率较低的情况不同，其并不是通过电极产生的，而是通过 磁控管。磁控管始终位于实际等离子体的外部，并通过石英玻璃窗口将其辐射馈送入 等离子体腔室 。
