2.45 GHz

启用了 ISM 频率,该频率用作等离子发生器和微波家电的工作频率。所产生的 等离子体 由于频率的原因被称为微波等离子体。此 微波辐射 与激发频率较低的情况不同,其并不是通过电极产生的,而是通过 磁控管。磁控管始终位于实际等离子体的外部,并通过石英玻璃窗口将其辐射馈送入 等离子体腔室

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