等离子体指示剂

使用目的何在？用于对以下等离子工艺流程进行工艺流程控制：- 清洗 - 活化 - 蚀刻 共有哪几种等离子体指示剂类型？

1.等离子体指示剂（液态）

通过 Diener electronic 公司的等离子体指示剂-金属化合物，等离子设备的用户一眼便可以识别出所进行的等离子处理是否成功。该指示剂由一种液态金属化合物组成，其会在等离子体中分解。如果将一滴原本无色的液体滴加到组件本身或者一份参考样本上，此液滴在等离子处理期间将会转变为一种具有金属光泽的涂层，并在大多数表面上形成鲜明的对比。

2.等离子指示标签

标签上所涂覆薄膜的特点是暗色（褐色）指示点，如果等离子工艺流程成功，则该指示点会消失。如果不再看到任何指示点，则表明已成功的进行了清洗/活化/蚀刻。