工艺气体

工艺气体是用于激发 等离子体 所用的 气体 或气体混合物。根据工艺气体的特性 ，可获得各不相同的等离子体作用。相应地将会使用大量工艺气体。 最重要的工艺气体是： 氧气、 氢、 四氟甲烷、 氩、氦气、 六氟化硫、空气、水、...