等离子系统

低压等离子设备的特点

等离子发生器是一种高频发生器。作为等离子系统的其他组件，还需要一个耐压型等离子体腔室和一个真空系统。根据待进行的等离子工艺流程，可使用不同的等离子发生器。高频电极（平板电极或管状电极）或磁控管，通过 微波辐射激发时。可选择使用各种其他组件：

• 压力传感器
• 调节阀
• 排气过滤器
• 电气屏蔽（法拉第笼）
• 聚合物蒸发器
• 产品支架

常压等离子体的特点

等离子发生器是一种高电压发生器。等离子体激发时，两个电晕电极位于等离子发生器中，两个电极之间通过高电压点燃气体放电。此 工艺气体 在高压下输送。