等离子系统

整套设备用于执行 等离子处理。其始终包括:

  1. 一个等离子发生器
  2. 一个等离子发生器
  3. 以及用于供电的管线和连接至等离子发生器的 工艺气体输送装置
  4. 和一个电气控制系统

低压等离子设备的特点

等离子发生器是一种高频发生器。作为等离子系统的其他组件,还需要一个耐压型等离子体腔室和一个真空系统。根据待进行的等离子工艺流程,可使用不同的等离子发生器。高频电极(平板电极或管状电极)或磁控管,通过 微波辐射激发时。可选择使用各种其他组件:

  • 压力传感器
  • 调节阀
  • 排气过滤器
  • 电气屏蔽(法拉第笼)
  • 聚合物蒸发器
  • 产品支架

常压等离子体的特点

等离子发生器是一种高电压发生器。等离子体激发时,两个电晕电极位于等离子发生器中,两个电极之间通过高电压点燃气体放电。此 工艺气体 在高压下输送。

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