等离子发生器

一个 常压等离子设备 (Plasma Beam) 由以下基本部件组成： 供给单元 和 等离子发生器。等离子发生器由供给单元通过供给管线获得高电压和工艺气体供给。在等离子发生器中，会在高电压电极之间点燃 电晕放电 。所产生的 等离子体 通过 等离子喷嘴 被吹出。等离子发生器可通过机器人进行引导。通过在自由 大气层 环境下进行处理，可实现连续的 等离子处理 工序步骤（内联）。