超高真空

压力低于 10-7 mbar 的真空称之为超高真空。在这种压力下,粒子的平均自由行程约为 1 km。超高真空可通过 涡轮分子泵 来实现,其前提条件是设备进行了出色密封,并且在真空中不存在任何放气物体。对于少数技术目的而言,超高真空是必需的,例如:在粒子加速器中和用于掺杂半导体的设备中。

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