超高真空

压力低于 10-7 mbar 的真空称之为超高真空。在这种压力下，粒子的平均自由行程约为 1 km。超高真空可通过涡轮分子泵来实现，其前提条件是设备进行了出色密封，并且在真空中不存在任何放气物体。对于少数技术目的而言，超高真空是必需的，例如：在粒子加速器中和用于掺杂半导体的设备中。