(简体中文): 近距离体验——现场探索等离子体、真空与派瑞林！

electronica 2026

München | Germany

10. - 13.11.2026

B2展馆 412展位

Space Tech Expo Europa 2026

Bremen | Germany

17. - 19.11.2026

7展馆 W27展位

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离子束蚀刻

离子束蚀刻（英语：Ion Beam Etching）是一种干式蚀刻方法。不同于离子蚀刻，反应性离子将在一个独立的离子源中提供，并通过加速栅格提取至蚀刻室中。

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