掩膜

表面或基材上经结构化处理的膜或涂层。掩膜的结构允许对基材进行局部处理。在微电子领域中,具有超精细结构的掩膜主要产生于 光刻 。经光刻胶层中的缺口,尤其可以通过 反应性离子蚀刻 (RIE) 对基材进行处理。光刻胶掩膜本身也可在经结构化处理后通过 等离子蚀刻 将其除去。

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