化学蚀刻

通过化学反应去除基材上的材料。湿法化学蚀刻是通过液态蚀刻液(酸、碱、溶剂)与基材的 分子 发生反应来实现的。干法化学蚀刻 是在 等离子体 中通过 活性种 (激发的 原子自由基离子)与基材分子发生反应来实现的。此 工艺气体 必须与基材匹配(选择性蚀刻过程),蚀刻过程是无方向性的(各向同性)所产生的挥发性蚀刻产物将被泵出。

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