化学蚀刻

通过化学反应去除基材上的材料。湿法化学蚀刻是通过液态蚀刻液（酸、碱、溶剂）与基材的 分子 发生反应来实现的。干法化学蚀刻 是在 等离子体 中通过 活性种 （激发的 原子、 自由基、 离子）与基材分子发生反应来实现的。此 工艺气体 必须与基材匹配（选择性蚀刻过程），蚀刻过程是无方向性的（各向同性）所产生的挥发性蚀刻产物将被泵出。