惰性气体

惰性气体是指化学元素:氦、氖、 、氪、氙和氡,其特征在于其 原子 的最外层电子壳层完全充满了 电子 。因此,惰性气体不会和其他原子发生键合,因为既不会释放 价电子 ,也不会吸收其他原子的价电子。因此,惰性气体总是以原子的形式存在,而且不会形成任何 分子。如果将惰性气体作为 工艺气体 用在 等离子体技术 中,那么其不会形成 自由基,而仅会形成 离子 。此外,因为激发的原子不会和基材原子和基材分子发生任何反应,所以也不会发生化学 等离子蚀刻 。惰性气体在 等离子体技术 领域中特别重要,这是因为力求进行纯物理 离子蚀刻 时始终可以使用惰性气体。特别是在需要获得完全 各向异性 的蚀刻效果时。在等离子体技术领域中,实际上仅使用惰性气体族中的氩气。氦离子由于由于质量较低而仅具有最小的蚀刻效果。氖气由于发光的橙黄色等离子体,主要用途在于应用于 氖管。较重的惰性气体氙、氪和氡极为罕见,故此相应的较为昂贵。与之相反,氩气可大批量提供,而且成本较低(地球大气中含 0.93%),并且其质量足以获得良好的蚀刻效果。

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