等离子清洗器

进行任何其他等离子处理之前，必须先进行等离子清洗，这样便可始终提供纯净的材料表面。为了实现完整彻底的清洗，提供了以下工艺流程：

通常情况下，低压等离子设备可用于各种等离子工艺流程。一个主要的等离子工艺流程便是清洗。原则上，在进行所有其他等离子工艺流程之前始终要进行清洗。故此，通用的低压等离子设备进行了必要的配备，以确保可以执行基本的清洗过程，特别是在氧气等离子体中进行的清洗。故此，此类用于清洗工艺流程的低压等离子设备也被称为等离子清洗器。