微流体
用于在 1 微米以下至几百微米尺寸的通道中输送液体的系统。在如此小的通道中，液体的表现与大分子的表现在很多方面有所不同。例如：可能形成层流，因为通道尺寸太小，不足以形成涡流。例如：在医疗、生物和化学分析领域中，用于对物质进行分离，对单个细胞进行隔离和处理。微流体结构可以采用 等离子蚀刻方法 ，例如：在 硅 中进行蚀刻。但是，对于微流体系统尤为重要的是材料 PDMS（聚二甲基硅氧烷）。通过微观结构，可以在 芯片 上实现含微型通道、泵、阀、 微型滴定器 的整套实验室（芯片实验室 (Lab-on-Chip)）。
