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腔室

等离子体腔室或者接收器被称为腔室，其中的 工艺气体 处于低压状态。该腔室被设计为压力容器。其由不会被所使用的工艺气体腐蚀的材料制成，通常由不锈钢制成。对于某些工艺流程而言，必须使用高纯度石英玻璃材质的接收器

接收器
特殊设备 Bel Jar 配备了硼硅玻璃材质的等离子体腔室
等离子体腔室
默认情况下，腔室（接收器）为不锈钢材质

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