低壓等離子體等离子系统 Tetra 30
可个性化配置的等离子设备，用于工业表面处理
28 - 57 升的腔室容积使 Tetra 30 成为大型零部件及小批量生产中进行等离子清洗、表面活化、等离子蚀刻和等离子镀膜的理想选择。 高性能的Tetra采用模块化设备设计，可广泛应用于科研、开发和工业领域。
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高性能模块化设备方案
凭借28 - 57升的腔室容积，既可高效加工单件工件，也能高效处理小批量生产。 从这一设备规格起，均采用坚固耐用的立式系统设计，为工业应用提供了最佳条件。模块化设计体系允许根据您的工艺流程、材料及自动化需求，对设备进行个性化配置。
根据具体应用需求，可提供多种真空腔室、等离子发生器功率及控制选项。由此打造出的等离子系统不仅能精准满足您的需求，还能为未来的扩展预留空间。
Tetra 30 适用于低压等离子技术的多种工艺，包括超精细清洗、表面活化、等离子蚀刻和等离子镀膜。由此，可使表面为后续的粘合、印刷、喷漆或镀膜工艺做好最佳准备。
活化
在噴漆、黏合、印刷或 bonding 過程中，要使結合夥伴產生作用，表面必須具備良好的潤濕性。低壓等離子體 設備 Tetra 30 所進行的等離子活化處理，能形成極性結合夥伴並提高表面能。
更多信息
28 - 57升 腔室
Tetra 30等离子设备配备了28 - 57升的腔室容积，非常适合处理工业领域的大型部件。 除了标准的铝制或不锈钢腔体外，对于要求高纯度的应用，还提供硼硅酸盐玻璃或石英玻璃腔体。这些腔体具有出色的耐化学腐蚀性，可确保高工艺纯度。 针对工业应用，提供不锈钢或铝制腔室，可确保工业工艺特别安全且稳定。
工业4.0
为满足“工业4.0”日益增长的需求，Diener electronic 为 Tetra 30 等离子设备提供了可选的自动门配置。这使得 Tetra 30 等离子系统能够快速集成到制造执行系统（MES）中，并最佳地融入自动化生产线。 自动装卸功能减少了人工干预，从而提高了工艺可靠性，并确保了工艺过程的可重复性。通过自动化，等离子设备 Tetra 30 能够确保高效的质量控制。
电极
随着技术的进步，要求也在不断提高。选择Diener electronic，企业可享受到极高的投资安全性，因为Tetra 30能够随着未来需求的发展而不断升级。凭借灵活的模块化系统，可根据具体应用场景，选择单层或多层电极。 对于体积较大、结构复杂且在腔室内占据大量空间的部件，建议选用能确保处理均匀的电极。 为了确保在任何应用场景下都能实现均匀处理，对于分布在多层上的众多小型部件，通常会安装多层电极或旋转鼓式电极。
控制
对于工业应用而言，配备了预设工艺流程的简易型Low Cost或基础PC控制系统的Tetra 30等离子设备是最佳选择。 在要求较高的生产环境中，可选择全功能PC控制系统。该系统支持远程诊断、网络连接以及工艺流程和报警列表的归档。高效且经济的生产基于工艺流程的透明度和可追溯性。
技术数据
外壳尺寸
立式
控制装置
Low Cost PC (Windows CE)
Basic PC (Windows CE)
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
真空室
不锈钢, 铰链门
宽 305 mm x 高 305 mm x 深 370 mm; 卷 约 34 升
不锈钢, 铰链门
宽 305 mm x 高 300 mm x 深 625 mm; 卷 约 57 升
铝, 铰链门
宽 305 mm x 高 300 mm x 深 370 mm; 卷 约 34 升
可选: 深度可灵活扩展，最大可达3000毫米
铝, 铰链门
宽 305 mm x 高 300 mm x 深 625 mm; 卷 约 57 升
可选: 深度可灵活扩展，最大可达3000毫米
石英玻璃, 铰链门
⌀ 300 mm x
深 400 mm; 卷 约 28 升
硼硅玻璃, 铰链门
⌀ 300 mm x
深 400 mm; 卷 约 28 升
发电机
40.00 千赫 | 功率输出 0 - 1500 W
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 1000 W
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 3000 W
13.56 兆赫 | 功率输出 0 - 300 W
2.45 吉赫兹 | 功率输出 0 - 850 W
供气
针型阀
MFC (Mass flow controller)
电极
单层电极
多层电极
RIE 电极
压力测量
皮拉尼传感器
容积式压力表
电源
400 V | 16 - 125 A
保留技术变更权利。
FAQ 常见问题
贵公司在大气压和低压环境下用于等离子体表面处理的设备、装置和系统，与其他市场竞争对手相比有何不同？
Diener electronic的等离子表面处理设备和系统与市场上的同类产品相比，具有以下区别：
- 凭借技术可靠性，我们在客户的各种生产环境中积累了超过20年的AD经验和30年的ND经验
- 已安装的设备数量达数千套
- 结构紧凑
- PC型号支持现代通信协议，如Profinet、EtherCat等
能透过观察窗看到里面吗？
是的，根据材料的不同，可以观察真空室内部的情况。
使用等离子设备Tetra 30可以活化哪些表面？
使用Diener electronic公司的等离子设备Tetra 30，可对塑料、金属、玻璃、陶瓷和纺织品等表面进行活化处理。
Tetra 30是否需要排气过滤器？
是的，无论使用何种燃气，所有设备都必须连接到有效的排气系统。 这些设备会产生氮氧化物、废气、细微的油雾（对于燃油泵而言）等，这些物质绝不能吸入；此外，这些气体通常呈酸性，因此会加速周围部件、机器和设备的锈蚀。
Tetra 30在真空室中的典型工艺温度是多少？
Diener electronic 的 Tetra 30 通常在室温至约 80 °C 范围内运行——具体温度取决于组件、腔室类型、工艺时间和装载量。如需更高温度，可向 Diener electronic 提出申请，通过加热元件实现。
Tetra 30的真空室中，通常具有什么样的典型压力范围？
该Tetra 30的典型压力范围为可调的0.1至1.0毫巴，具体取决于所设定的低压等离子体工艺。
Tetra 30中可以使用哪些气体？
在Tetra 30中以及一般低压等离子体中，可使用以下气体：O₂、N₂、Ar、室内空气、CO₂、H₂O蒸汽和甲烷气
在Tetra 30系统中，除了氢之外还有其他替代方案吗？
如向Diener electronic咨询，该Tetra 30系统可考虑采用氢气发生器，或将水蒸气作为氢气的替代方案。
Tetra 30 该设备能否处理磁性部件？
Diener electronic 的 Tetra 30 真空腔室也能很好地处理磁性元件。
Tetra 30能否处理对温度敏感的部件？
是的，由于这是冷等离子体，因此Diener electronic的低压等离子体设备Tetra 30适用于对温度敏感的元器件。
Tetra 30系统在软件控制方面支持哪些连接方式？
通过全PC控制，Diener electronic的Tetra 30等离子系统具有以下连接选项：
- 上级控制系统，例如通过 Profinet 连接
- MES系统，例如通过OPC UA
- 通过 ODBC 连接数据库
