Tetra 30

• 质量流量控制器 (MFC)

• 矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 305 mm，高 300 mm x 深 370 mm 或 625 mm）
• 矩形铝，带铰链的门（约宽 305 mm，高 300 mm x 深 370 mm 或 625 mm）

• 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

•     单层或多层
•     带气体喷淋装置的 RIE 电极

•     Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)
•     Full PC 控制系统 (Microsoft Windows 10 IoT)

•     Pirani
•     电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）

• 集成在 PC 中

频率：

• 80 kHz：功率 1000 W 或 3000 W
• 13.56 MHz：功率 0 - 300 W；0 - 600 W
• 2.45 GHz：功率 0 - 600 W；0 - 1200 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

• 不同规格，来自不同制造商（根据需要配备活性炭过滤器）

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。