Tetra 30

低压等离子设备(等离子清洗器)

Tetra 30 等离子系统可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Tetra 30 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。Tetra 30 等离子系统主要应用于以下领域

  •     分析 (REM, TEM)
  •     考古
  •     汽车
  •     生物技术
  •     弹性体技术
  •     电子技术
  •     电子显微镜
  •     精密工程
  •     研究和开发
  •     半导体技术
  •     小批量生产
  •     塑料技术
  •     医疗技术
  •     微系统技术
  •     太阳能电池技术
  •     纺织技术

各种型号

型号 1

型号 1,标准设备
基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门,
(宽:305 mm,深:370 mm,高:300 mm)
气体供给: 
MFC

型号 2

型号 2,标准设备
基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门,
(宽:305 mm,深:370 mm,高:300 mm)
气体供给:
MFC

型号 3

型号 3,腐蚀性气体设备(例如:用于含氟的工艺气体)
基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统
(宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门,
(宽:305 mm,深:370 mm,高:300 mm)
气体供给:
MFC

型号 4

型号 4,腐蚀性气体设备(例如:用于含氟的工艺气体)
基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统
(宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门,
(宽:305 mm,深:370 mm,高:300 mm)
气体供给:
MFC

型号 5

型号 5,等离子体聚合设备
基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统
(宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门
(宽:305 mm,深:370 mm,高:300 mm)
气体供给:
MFC

型号 6

型号 6,等离子体聚合设备
基本设备类型 A 中的  FULL PC 控制系统
(宽 600 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm)
真空腔室,矩形,铝,带铰链的门
(宽:305 mm,深:370 mm,高:300 mm)
气体供给:
MFC

等离子处理方法

材料清洗

等离子体技术可为所有类型的污染物、所有基材和所有后续处理提供解决方案。此外,还能分解由分子构成的残留污染物。

有关清洗的更多信息

材料活化

表面具有良好的润湿性,是确保在 涂漆、粘接、印刷 或者 键合 时与结合配偶体 粘附 的前提条件。

有关活化的更多信息

材料蚀刻

等离子体技术可用于各向异性和各向同性蚀刻。通过化学蚀刻进行各向同性蚀刻,通过物理蚀刻进行各向异性蚀刻。

有关蚀刻的更多信息

材料涂覆

使用低压等离子体,可以改良具有不同涂层的工件。为此,会将气态和液态原材料输送到真空腔室中。

有关涂覆的更多信息

技术数据

基本装备

  •     根据组件/选装件,外壳规格会有所不同
  •     腔室容积:根据具体版本 34 - 57 升
  •     供电电源:230 V 或者 400 V / 3 相位

气体供给

  • 质量流量控制器 (MFC)

真空腔室

  • 矩形不锈钢,带铰链的门(约宽 305 mm,高 300 mm x 深 370 mm 或 625 mm)
  • 矩形铝,带铰链的门(约宽 305 mm,高 300 mm x 深 370 mm 或 625 mm)

装载件

  • 产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

  •     单层或多层
  •     带气体喷淋装置的 RIE 电极

控制系统

  •     PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
  •     PC 控制系统 (Microsoft Windows 10 IoT)

压力测量

  •     Pirani
  •     电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

  • 集成在 PC 中

发生器

频率:

  • 80 kHz:功率 1000 W 或 3000 W
  • 13.56 MHz:功率 0 - 300 W;0 - 600 W
  • 2.45 GHz:功率 0 - 600 W;0 - 1200 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

  • 不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。

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