Femto

• 圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 100 mm，长 278 mm 或长 600 mm）
• 矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 103 x 深 285 x 高 103）
• 矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 103 mm x 103 mm，长 280 mm 或长 600 mm）
• 圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm）
• 圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm

• 产品支架（选项：水冷型）
• 石英玻璃舟皿
• 粉末转鼓 
• 散装件转鼓 
• 铝板
• 不锈钢板
• 硼硅玻璃
• 石英玻璃

• 单层或多层
• RIE

• 半自动型
• Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)
• Full PC 控制系统 (Windows 10 IoT)

• Pirani
• 电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）

• 数字

频率：    

• 40 kHz：功率 0 - 100 W；0 - 1000 W
• 100 kHz：功率 500 W
• 80 kHz：功率 1000 W
• 13.56 MHz： 功率 0 - 200 W
• 2.45 GHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

• 不同规格，来自不同制造商（根据需要配备活性炭过滤器）

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。