等离子蚀刻机

通常情况下， 低压等离子设备 可用于各种 等离子工艺流程 。一个 等离子设备 可优化 等离子蚀刻 或用于等离子蚀刻。首选这种配备了 微波耦合 选装件的设备，因为微波激发时可实现特别高的蚀刻速率和选择性极高的蚀刻过程。故此，通常将所使用的这种经过相应优化的 等离子设备 称为等离子蚀刻机。