SIMS

二次离子质谱法,分析薄层的一种极为灵敏的方法。此处,表面受到富含能量的初级离子的轰击,这样除了其他粒子以外,还能够将涂层材料中的二次离子射出。其可直接通过质谱法进行检测。

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