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离子,其从基材表面碰撞而出,虽然并未在该处发生化学反应,但是可以通过其劈开表面的 原子 和 分子 来产生物理作用。这些可能是表面涂层或污染物或基材本身的一部分。这种作用就如同是使用原子尺寸的颗粒进行喷砂一样。
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