PACVD (PECVD)

采用化学气相沉积法 (Chemical Vapour Deposition CVD) 时，基材表面上会借此形成固体层，其会因基材受热反应形成气态 分子 。在采用等离子体辅助型 CVD (PACVD) 方法时，可通过紫外线辐射将 工艺气体分子 转化生成自由基 ，即使不存在温度影响，该自由基也会在表面上发生反应。
故此，相对于 CVD 方法，PACVD 方法也可以在耐热性较低的基材上使用。也可以使用 PECVD（等离子体增强型 CVD）这一术语来代替 PACVD。