PACVD (PECVD)

采用化学气相沉积法 (Chemical Vapour Deposition CVD) 时,基材表面上会借此形成固体层,其会因基材受热反应形成气态 分子 。在采用等离子体辅助型 CVD (PACVD) 方法时,可通过紫外线辐射将 工艺气体分子 转化生成自由基 ,即使不存在温度影响,该自由基也会在表面上发生反应。
故此,相对于 CVD 方法,PACVD 方法也可以在耐热性较低的基材上使用。也可以使用 PECVD(等离子体增强型 CVD)这一术语来代替 PACVD。

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