发生器

针对等离子设备

为了确保等离子设备正常工作，需要一个发生器。哪个频率是适合所需等离子体应用用途的最佳频率，不得一概而言，必须视具体情况而定。Diener electronic 公司多年来一直都提供频率为 40 kHz 和 2.45 GHz 的等离子发生器，现在还增加了自主开发和制造的功率为 100 和 300 瓦特的 13.56 MHz 发生器。

这两种功率的主要应用领域为，将等离子体应用于活化、清洗、蚀刻、半导体（前端）、半导体（后端）和等离子体聚合。既可以手动（手动匹配），也可以自动（自动匹配）进行阻抗调整，但是在任何情况下都必须进行此操作。因此， HF 系统由发生器和匹配系统组成。

进行手动匹配的时候，必须在每次启动过程时进行匹配设置，并且在过程中偶尔检查和调整匹配，将会自动设置电容器，并在发生变化时重新调整电容器。

此外，还可以显示正向和反向功率，通过门开关和真空安全开关进行安全关断，保持石英稳定频率符合 DIN EN 55011 标准和一个 PC 接口。

2.45 GHz-发生器（微波）

功率范围为 0 至 1.000 瓦特，发生器拥有一个 PC 接口。主要应用领域为活化、清洗、蚀刻、半导体（前端）、半导体（后端）、等离子体聚合。

也可以提供功率为 1.000 瓦特的微波发生器。

技术数据：

最大输出功率   1.000 W
最大输出电流   300 mA
最大输出电压   5000 V
最大功率消耗量   < 1300 W
最大电流消耗量   9 ARMS
（无 PFC）
电源电压    210...250 VAC
效率   > 95 %（为额定功率时）
功率调节   电流：0...300 mA
功率：0...1200 W
脉冲：100Μ...100ms（脉冲/暂停时间）
调节偏差   ± 5 %（来自最大值，温度补偿）
冷却   空气，最大 70 l/min，温度受控
环境温度   +15...+40 °C
负载误差触发时间   短路/开路 < 1 sec，调节误差 < 5 sec
尺寸   < 485 x 145 x 290 mm³ (bxhxt)
重量   约 6.0 kg

发生器 13.56 MHz、100 W

射频发生器应用领域：

低压等离子体
射频加热器

射频发生器 13.56 MHz，100 W

射频额定输出功率：100 瓦特
频率：13.560 MHz ± 100 ppm
可调的射频输出功率：0 - 100 瓦特，连续性
发生器可以产生脉冲：最短启动时间：5µs
阻抗：50 Ohms
射频稳定性：低于 5%（取决于所使用的调节设备）
从开路输出端到短路，均安装了失配保护
功率未降低情况下的最大失配：VSWR = 1.2
全负荷接通式射频
电源接口：88 - 264 V WS /47 - 63 Hz（结合外接电源）
功率消耗量：最大 220 瓦特
远程控制接口，用于：- 接通/关闭射频-射频功率设置 (0...10 V = 0 ...100 %)
射频输出端：N 型插孔
电源接口：外部电源模块
质量：约 6.5 kg（发生器）加 1.0 kg（电源）

如果您想要咨询该设备的技术相关内容，请联系我们。

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发生器 13.56 MHz、300 W

射频发生器应用领域：

低压等离子体
射频加热器

射频发生器 13.56 MHz，300 W

射频额定输出功率：300 瓦特
频率：13.560 MHz ± 100 ppm
可调的射频输出功率：0 - 300 瓦特，连续性
发生器可以产生脉冲：最短启动时间：5µs
阻抗：50 Ohms
射频稳定性：低于 5%（取决于所使用的调节设备）
从开路输出端到短路，均安装了失配保护
功率未降低情况下的最大失配：VSWR = 1.2
全负荷接通式射频
电源接口：88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz
功率消耗量：最大 580 瓦特
远程控制接口，用于：- 接通/关闭射频，射频功率设置 (0...10 V = 0 ...100 %)，自动调节设备，PC 或等离子设备控制系统
射频输出端：N 型插孔
电源接口：IEC 嵌入式插头和过滤器
质量：约 18 kg

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LFG 发生器，500W

最大输出功率：500W
最大输出电流：1.3A
最大输出电压：1200VAC
最大功率消耗量：560W
输入电压：210...230VAC 50/60Hz
输入电流：最大 2.6 Arms
效率：> 90 %（为额定功率时）
功率调节模式：电流模式：0.1A - 1.3A 功率模式：10W - 500W（通过 DSUB 或 PC 连接）脉冲模式：
• 脉冲宽度：100µs - 100ms
• 脉冲延迟：100µs - 100ms

精度：大于终值的 ±5 %
抗开路和短路失配保护
•   开路/短路时的关闭时间
：< 1 sec
•   失配时的关闭时间
：< 5 sec
同步并行操作
温度范围（运行期间）：+15 - +40 °C
冷却：最大 70 m³/h 气流接口：
•   DSUB25（母接口）用于通过工业系统进行远程控制（24/10V 电压等级）
重量：5.6 kg
用途：
•   低压等离子发生器

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LFG 发生器，1000W

最大输出功率：1200W
最大输出电流：4A
最大输出电压：1200VAC
最大功率消耗量：1500W
输入电压：210...230VAC 50/60Hz
输入电流：最大 3x 5 Arms
效率：> 90 % （为额定功率时）
功率调节模式：电流模式：1A - 4A 功率模式：300W - 3000W（通过 DSUB 或 PC 连接）脉冲模式：
•   脉冲宽度：100µs - 100ms
•   脉冲延迟：100µs - 100ms
精度：大于终值的 ±5 %
抗开路和短路失配保护
•   开路/短路时的关闭时间
：< 1 sec
•   失配时的关闭时间
：< 5 sec
同步并行操作
温度范围（运行期间）：+15 - +40 °C
冷却：最大 70 m³/h 气流

接口：
•   DSUB25（母接口）用于通过工业系统进行远程控制（24/10V 电压等级）
重量：18 kg
用途：
•   低压等离子发生器

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LFG 发生器，3000W

最大输出功率：3000W
最大输出电流：10A
最大输出电压：1200VAC
最大功率消耗量：3600W
输入电压：210...230VAC 50/60Hz
输入电流：最大 3x 7 Arms
效率：> 90 % （为额定功率时）
功率调节模式：电流模式：1A - 4A 功率模式：300W - 3000W（通过 DSUB 或 PC 连接）脉冲模式：
•   脉冲宽度：100µs - 100ms
•   脉冲延迟：100µs - 100ms
精度：大于终值的 ±5 %
抗开路和短路失配保护
•   开路/短路时的关闭时间
：< 1 sec
•   失配时的关闭时间
：< 5 sec
同步并行操作
温度范围（运行期间）：+15 - +40 °C
冷却：最大 70 m³/h 气流

接口：
•   DSUB25（母接口）用于通过工业系统进行远程控制（24/10V 电压等级）
重量：18 kg
用途：
•   低压等离子发生器

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LFG 发生器，5000W

最大输出功率：5000W
最大输出电流：10A
最大输出电压：1200VAC
最大耗能量：5700A
电源接口：210...230VAC 50/60Hz
输入电流：最大 3 x 7 Arms
效率：> 90 %（为额定功率时）
功率设置：电流模式：1A – 4A 功率模式：300W – 3000W
（通过 DSUB 或 PC 连接）脉冲模式：
•   脉冲宽度：100µs - 100ms
•   脉冲延迟：100µs - 100ms
精度：< 终值的 ±5 %
“开路输出”和“短路”的负载失配
•   负载开路时的关闭时间：<1sec.
•   设置错误时的关闭时间：< 5 sec
同步并行操作
运行温度范围：+15 - +40 °C
冷却：最大 323 m³/h 空气流量（温度受控）
接口：
•   DSUB25（母接口）用于通过工业系统控制器进行远程控制（24/10V 电压等级）
重量：18 kg
用途：
•   低压等离子发生器