发生器

针对等离子设备

为了确保等离子设备正常工作,需要一个发生器。哪个频率是适合所需等离子体应用用途的最佳频率,不得一概而言,必须视具体情况而定。Diener electronic 公司多年来一直都提供频率为 40 kHz 和 2.45 GHz 的等离子发生器,现在还增加了自主开发和制造的功率为 100 和 300 瓦特13.56 MHz 发生器。 

这两种功率主要应用领域为,将等离子体应用于活化清洗蚀刻、半导体(前端)、半导体(后端)和等离子体聚合。既可以手动(手动匹配),也可以自动(自动匹配)进行阻抗调整,但是在 任何情况下都必须进行此操作。 因此, HF 系统由发生器匹配系统组成。

进行手动匹配的时候,必须在每次启动过程时进行匹配设置,并且在过程中偶尔检查和调整匹配,将会自动设置电容器,并在发生变化时重新调整电容器。

此外,还可以显示正向反向功率通过门开关和真空安全开关进行安全关断,保持石英稳定频率符合 DIN EN 55011 标准和一个 PC 接口。 

2.45 GHz-发生器(微波)

功率范围为 0 至 850 瓦特,发生器拥有一个 PC 接口。主要应用领域为活化、清洗、蚀刻、半导体(前端)、半导体(后端)、等离子体聚合。

也可以提供功率为  1200 瓦特的微波发生器。

 

技术数据: 

最大输出功率    1.200 W
最大输出电流    300 mA
最大输出电压    5000 V
最大功率消耗量    < 1300 W
最大电流消耗量    9 ARMS 
(无 PFC)
电源电压     210...250 VAC
效率    > 95 %(为额定功率时)
功率调节    电流:0...300 mA
功率:0...1200 W
脉冲:100Μ...100ms(脉冲/暂停时间)
调节偏差    ± 5 %(来自最大值,温度补偿)
冷却    空气,最大 70 l/min,温度受控
环境温度    +15...+40 °C
负载误差触发时间    短路/开路 < 1 sec,调节误差 < 5 sec
尺寸    < 485 x 145 x 290 mm³ (bxhxt)
重量    约 6.0 kg

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发生器 13.56 MHz、100 W 

射频发生器应用领域: 

  • 低压等离子体
  • 射频加热器

射频发生器 13.56 MHz,100 W 

  • 射频额定输出功率:100 瓦特
  • 频率:13.560 MHz ± 100 ppm
  • 可调的射频输出功率:0 - 100 瓦特,连续性
  • 发生器可以产生脉冲:最短启动时间:5µs
  • 阻抗:50 Ohms
  • 射频稳定性:低于 5%(取决于所使用的调节设备)
  • 从开路输出端到短路,均安装了失配保护
  • 功率未降低情况下的最大失配:VSWR = 1.2
  • 全负荷接通式射频
  • 电源接口:88 - 264 V WS /47 - 63 Hz(结合外接电源)
  • 功率消耗量:最大 220 瓦特
  • 远程控制接口,用于:- 接通/关闭射频-射频功率设置 (0...10 V = 0 ...100 %)
  • 射频输出端:N 型插孔
  • 电源接口:外部电源模块
  • 质量:约 6.5 kg(发生器)加 1.0 kg(电源)

如果您想要咨询该设备的技术相关内容,请联系我们。

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发生器 13.56 MHz、300 W 

射频发生器应用领域: 

  • 低压等离子体
  • 射频加热器

射频发生器 13.56 MHz,300 W 

  • 射频额定输出功率:300 瓦特
  • 频率:13.560 MHz ± 100 ppm
  • 可调的射频输出功率:0 - 300 瓦特,连续性
  • 发生器可以产生脉冲:最短启动时间:5µs
  • 阻抗:50 Ohms
  • 射频稳定性:低于 5%(取决于所使用的调节设备)
  • 从开路输出端到短路,均安装了失配保护
  • 功率未降低情况下的最大失配:VSWR = 1.2
  • 全负荷接通式射频
  • 电源接口:88 - 264 V WS / 47 - 63 Hz 
  • 功率消耗量:最大 580 瓦特
  • 远程控制接口,用于:- 接通/关闭射频,射频功率设置 (0...10 V = 0 ...100 %),自动调节设备,PC 或等离子设备控制系统
  • 射频输出端:N 型插孔
  • 电源接口:IEC 嵌入式插头和过滤器
  • 质量:约 18 kg 

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LFG 发生器,500W

最大输出功率:500W
最大输出电流:1.3A
最大输出电压:1200VAC
最大功率消耗量:560W
输入电压:210...230VAC 50/60Hz
输入电流:最大 2.6 Arms
效率:> 90 %(为额定功率时)
功率调节模式:电流模式:0.1A - 1.3A 功率模式:10W - 500W(通过 DSUB 或 PC 连接)脉冲模式:
•    脉冲宽度:100µs - 100ms
•    脉冲延迟:100µs - 100ms

精度:大于终值的 ±5 %
抗开路和短路失配保护
•    开路/短路时的关闭时间
:< 1 sec
•    失配时的关闭时间
:< 5 sec
同步并行操作
温度范围(运行期间):+15 - +40 °C
冷却:最大 70 m³/h 气流接口:
•    DSUB25(母接口)用于通过工业系统进行远程控制(24/10V 电压等级)
重量:5.6 kg
用途:
•    低压等离子发生器

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LFG 发生器,1000W

最大输出功率:1200W    
最大输出电流:4A    
最大输出电压:1200VAC    
最大功率消耗量:1500W    
输入电压:210...230VAC 50/60Hz    
输入电流:最大 3x 5 Arms    
效率:> 90 % (为额定功率时)    
功率调节模式:电流模式:1A - 4A 功率模式:300W - 3000W(通过 DSUB 或 PC 连接)脉冲模式:
•    脉冲宽度:100µs - 100ms
•    脉冲延迟:100µs - 100ms    
精度:大于终值的 ±5 %    
抗开路和短路失配保护
•    开路/短路时的关闭时间
:< 1 sec
•    失配时的关闭时间
:< 5 sec    
同步并行操作    
温度范围(运行期间):+15 - +40 °C    
冷却:最大 70 m³/h 气流    

接口:
•    DSUB25(母接口)用于通过工业系统进行远程控制(24/10V 电压等级)    
重量:18 kg    
用途:
•    低压等离子发生器    

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LFG 发生器,3000W

最大输出功率:3000W    
最大输出电流:10A    
最大输出电压:1200VAC    
最大功率消耗量:3600W    
输入电压:210...230VAC 50/60Hz    
输入电流:最大 3x 7 Arms    
效率:> 90 % (为额定功率时)    
功率调节模式:电流模式:1A - 4A 功率模式:300W - 3000W(通过 DSUB 或 PC 连接)脉冲模式:
•    脉冲宽度:100µs - 100ms
•    脉冲延迟:100µs - 100ms    
精度:大于终值的 ±5 %    
抗开路和短路失配保护
•    开路/短路时的关闭时间
:< 1 sec
•    失配时的关闭时间
:< 5 sec    
同步并行操作    
温度范围(运行期间):+15 - +40 °C    
冷却:最大 70 m³/h 气流    

接口:
•    DSUB25(母接口)用于通过工业系统进行远程控制(24/10V 电压等级)    
重量:18 kg    
用途:
•    低压等离子发生器

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LFG 发生器,5000W

最大输出功率:5000W
最大输出电流:10A
最大输出电压:1200VAC
最大耗能量:5700A
电源接口:210...230VAC 50/60Hz
输入电流:最大 3 x 7 Arms
效率:> 90 %(为额定功率时)
功率设置:电流模式:1A – 4A 功率模式:300W – 3000W
(通过 DSUB 或 PC 连接)脉冲模式:
•    脉冲宽度:100µs - 100ms
•    脉冲延迟:100µs - 100ms
精度:< 终值的 ±5 %
“开路输出”和“短路”的负载失配
•    负载开路时的关闭时间:<1sec.
•    设置错误时的关闭时间:< 5 sec
同步并行操作
运行温度范围:+15 - +40 °C
冷却:最大 323 m³/h 空气流量(温度受控)
接口:
•    DSUB25(母接口)用于通过工业系统控制器进行远程控制(24/10V 电压等级)
重量:18 kg
用途:
•    低压等离子发生器

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其他发生器配件:

偏置电压测量系统

偏置电压测量系统是一种测量仪器,其适用于 kHz 和 MHz 发生器。

微波泄漏检测仪

由于可能会用到危险的辐射,所以需为微波设备安装一个微波泄漏检测仪。

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