等离子体化学

仅少数化学反应是自发性的，即仅混合反应物就能发生化学反应。更为常见的是需要提供能量，当反应是“放热”反应的时候，即在整个反应过程中会释放能量的时候，所产生的能量便可自行用作活化能。通常情况下是通过升温来提供能量的。在所有上述情况下， 化学反应 总是伴随着显著的升温现象。但是，如果要在温度敏感型基材上发生化学反应，这便会出现问题。在 低压等离子体 中，这种激发不会产生升温现象，或者仅伴随较小的温度升高。在 高频激发 时， 离子、 自由基 和激发的 原子 的温度仍保持很低（参见 ⇒ 低温等离子体），但其仍具有较高的反应性，也就是说会自发与其他粒子反应形成新的化合物。因此，等离子体化学的一大优点在于，不会对温度敏感型基材造成影响。