CF4 - 四氟甲烷

四氟甲烷，尤其是以商品名称氟利昂 14 (Freon 14)（杜邦公司）而众所周知。对于涂覆工艺流程而言，CF₄ 是一种在 等离子体聚合 中常用的 工艺气体具有特征性颜色的原因。其用于制作氟化表面，特别是在进行 防油扩散处理时，其用于制作全氟化表面。 

四氟甲烷 CF₄ 相当于甲烷分子，其所有 4 个氢键均被氟取代。 <br/>在 等离子工艺流程 中常用的 工艺气体，特别是对于蚀刻工艺流程。四氟甲烷（CF₄，也被称为氟利昂 14）在正常条件下是完全惰性的，但在等离子体中会形成游离的氟原子和 CF₂-自由基和 CF₃-自由基。这些具有非常强的蚀刻作用，例如：在二氧化硅上。CF₄ 和 O₂ 混合物的蚀刻速度要比纯氧气快 5 倍左右。