反应性离子镀 (RIP)

等离子体辅助型离子镀，进行此操作时会将反应性 气体 注入到 等离子体 中，此气体将会与蒸发的金属发生反应，并形成相应化合物所组成的涂层。例如：钛蒸气会通过这种方式与氮气发生反应，并由此形成氮化钛层。