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有机硅清洁剂通常被理解为是一种基于 表面活性剂 的清洁剂。其能够对表面的外观进行清洁,但是无法去除牢固粘附的有机硅薄膜。有机硅清洁剂在 等离子体技术 中是指 等离子设备,其结合 氧气等离子体 便能够将最微小的有机硅残留物彻底除去。
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