表面技术词汇表

电离

工艺流程,在此期间 原子 将会失去一个 电子 并借此成为带正电荷的离子。 
在形成等离子体的过程中,原子的电子被剧烈激发,从而脱离原子壳层。这种激发可通过剧烈加热、高电场(气体放电)或在电磁场(高频激发)中剧烈振动来实现。
原子还可以捕获自由电子,并变成带负电荷的 离子

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