低压等离子体

技术 等离子体 可在 常压 下或稀薄气体中激发。在大气压下激发需通过 气体放电。由于离子在大气压下(约 10-7 m)具有自由行程,所以等离子体的膨胀仅限于具有较高场强的区域。低压等离子体是在两个 电极 之间通过高频电磁场产生的。由于激发粒子具有较大的自由行程(10-3 mbar 时为约 10 cm),故此等离子体的膨胀可能会超出高频场的作用范围,并且还会涵盖 接收器 的整个体积。 低压等离子体基本可以在任何 气体 中被激发。包括大气压下呈液态的物质,其可在低压下呈现气态,并可被用作 工艺气体 。其会在接收器外部进行蒸发,并以气形通入接收器中。通过大量的适用工艺气体,可相应的实现各种 等离子工艺流程

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