高频发生器

高频在电子和通信工程中用于表示电流和电场和/或磁场的高频率。高频交变场将在激发 低压等离子体 。不需要高电压。高频激发时不会产生电流,故此仅会产生较低的功耗,最重要的是温度上升较少。借此,可以在低压等离子体中通过高频激发耐热性较低的基材,实际上可以对几乎所有塑料进行处理。在 等离子体技术 中仅使用所释放的 ISM频率,其范围介于 kHz-、 MHz- 和 GHz之内。相关内容请参见: 
微波耦合
磁控管
筒状反应器
平行板反应器
电极
发生器高频激发是除了气体放电之外,用于产生技术等离子体的第二种基本技术。高频激发具有特殊的优点,即:其不会造成在等离子体中产生电流,故此也不会产生较高的温度和功耗。等离子体技术使用 kHz、MHz 和 GHz 范围内的激发频率。

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