高频发生器

高频在电子和通信工程中用于表示电流和电场和/或磁场的高频率。高频交变场将在激发低压等离子体。不需要高电压。高频激发时不会产生电流，故此仅会产生较低的功耗，最重要的是温度上升较少。借此，可以在低压等离子体中通过高频激发耐热性较低的基材，实际上可以对几乎所有塑料进行处理。在等离子体技术中仅使用所释放的 ISM频率，其范围介于 kHz-、 MHz- 和 GHz之内。相关内容请参见：
⇒微波耦合
⇒磁控管
⇒筒状反应器
⇒平行板反应器
⇒电极
⇒发生器高频激发是除了气体放电之外，用于产生技术等离子体的第二种基本技术。高频激发具有特殊的优点，即：其不会造成在等离子体中产生电流，故此也不会产生较高的温度和功耗。等离子体技术使用 kHz、MHz 和 GHz 范围内的激发频率。