磁控管

磁控管是一种用于产生微波辐射的电子管。在 等离子体技术 中,用于微波激发 低压等离子体 的磁控管是以已获批准的高频频率 2.45 GHz 运行的。磁控管始终位于 等离子体腔室 的外部(接收器)。等离子体激发可通过 微波耦合 来实现,例如:通过石英玻璃窗口。

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