PTFE 涂层

如果使用的 工艺气体 以氟单体（例如：四氟化碳 (CF₄) ）为基，那么 自由基 采用 低压等离子体 中则会轻易地发生聚合。所产生的 PTFE聚合物将会凝结在基材表面上。经涂覆的表面具有 疏水性 和 疏脂性。较之于其他表面，其在发生摩擦时具有较低的滑动摩擦和较低的磨损。
通过 PTFE 涂层，可实现对油润滑型表面的 防油扩散处理 。防油扩散处理可防止油膜洇开。