真空泵

在等离子体技术中最常用的是哪种真空泵?

真空泵用于在等离子设备的接收器中生成真空。在等离子体技术中最常用的真空泵如下所述:

旋片泵

功能

旋片泵由一个外壳组成,外壳中的 转子偏心转动。 外壳内部具有弹簧加载型叶片,叶片顶住外壳内壁,并沿内壁滑动。被围在吸入侧的气体将被压缩,直至其超过环境压力,然后压力侧上的排气阀打开。 
泵在油浴中运行。这具有以下优点

1.密封吸入侧和压力侧
2.降低摩擦

    泵尺寸

    对于我们的标准设备,可以考虑特殊旋片泵。 越大工艺时间越短
    可以根据腔室容积和所需的工艺时间自定义选择泵。

    有些处理产品会释放大量气体(例如:POM 部件、硅橡胶或潮湿部件)。在这种情况下,建议使用性能更强的泵。必须在初步测试中阐明这一点。

     

    氧气的使用

    如果要用氧气工作,则泵必须为此进行相应的准备。在泵的外壳中会产生油雾。如果使用的是矿物油,那么这种油雾与纯氧气结合会具有爆炸性
    有两种方法可以解决这个问题:


    1.用 PFPE-油充注泵。这种油是不可燃的。但是其有一些严重的缺点:

    • PFPE 油的价格极其昂贵
    • PFPE 油含有。等离子工艺流程期间,这种油会发生分解,并且会产生剧毒 的化合物(例如:全氟异丁烯)。仅这些油化合物便已经会引发危险事故了。
    • 必须将 PFPE 油作为特殊垃圾进行废弃处理。

     

    2.用空气或氮气冲洗泵。此解决方案应该是首选。
    工作原理:

    使用腐蚀性气体工作

    为了使用腐蚀性气体 (CF4 /O2, SF6, …) 进行工作,研发了特殊的真空泵。以下旋片泵适用于诸多应用用途。

    但是,这些泵经常与腐蚀性气体一起使用会限制其使用寿命。对于实验室操作,这种泵通常就够用了。但是,若经常在生产期间使用,我们则建议购买干运行泵。
    用干燥的空气或氮气冲洗腐蚀性气体。

    干运行泵适用于腐蚀性气体工艺

    针对使用腐蚀性气体工艺流程,也可以使用干运行泵。但是,这些泵必须是专门针对这种高负载而设计的。这些泵专为最高负载而设计。这些泵还可以处理 颗粒、冷凝或腐蚀副产物。干运行泵的优点在于优化了生产燃料的消耗量。这些泵不需要进行预防性维护。(换油)

     

    摇杆式活塞泵(罗茨泵)

    旋片泵所产生的压力受到限制。为了增强抽吸性能,建议将其与摇杆式活塞泵组合使用。它们将会组成一个所谓的泵站。典型组合如下所述:

    1.第一个泵(例如:一个旋片泵)生成预真空。其被称为“前级泵”。

    2.作为第二个泵,使用的是一个摇杆式活塞真空泵。

     

    哪些泵最适合您的工艺流程,我们乐意为您提供相关咨询。

    工作原理

    摇杆式活塞泵,也被称为罗茨泵罗茨鼓风机,是回转式活塞泵,其上有两个对称设计的旋转活塞或滚动活塞在输送箱中沿相反方向滚动。 
    转子的横截面约为 8 字形,并通过齿轮传动装置同步,以使它们从彼此旁边以及从外壳壁旁边经过时留有较小的缝隙,而不会相互接触。
    在活塞位置 I 和 II 处,吸气法兰中的容积将会增大。将活塞继续旋转到位置 lll 时,部分容积将被从吸力侧密封。

    在位置 IV 处,将该容积打开至出口侧,现有气体将会在预真空压力(高于吸入压力)下涌入。涌入的气体将会压缩吸入侧输送的气体体积。活塞继续旋转时,将会通过出口法兰排出压缩气体。
    每完整旋转一圈,针对每两个活塞重复执行此过程两次。通过输送室内的无接触式运行,可以以较高转速运行摇杆式活塞泵。由此,使用较小的泵就可以实现相对来说较高的抽气速率。
    摇杆式活塞泵中,吸入侧和出口侧之间的压力差补偿比受到限制。 
    (文本和插图需要获得 Oerlikon Vacuum GmbH 公司的友好许可)
     

    下载

    下载带和不带摇杆式活塞泵的抽吸性能示意图

    活性炭过滤器

    用于清洁有毒且污染环境的等离子废气。

    气体检测仪 (Dräger)

    在工作场所使用易燃气体时的额外安全选装件。

    真空抽吸过滤器

    防止真空泵被四处飞溅的部件、涂层 和 污染物损坏。

    水冷系统

    配有滚轮的水-空气-冷却装置,适用于移动式应用。通过泵保护电路的 2 个转换触点进行无电位型连接。

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