TMMF

TMMF 是 TOK 这家日本公司所出品厚膜光致抗蚀剂的一个系列。其是指不以液体形式,而是作为自粘膜进行涂覆的光致抗蚀剂类型。由于通过 TMMF 所涂覆的涂层比通过光刻胶所涂覆的涂层厚(一般为 5 µm - 30µm),故此可以产生极深的结构。因此,TMMF 主要用于生产 微流体系统MEMS 。TMMF 已成为此类应用的行业标准,故此其被用作厚膜光致抗蚀剂的代名词(英语:Dry Film Fotoresist DFR)

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