解聚

对于塑料而言，通过升高温度可以实现 聚合 的逆向过程（热分解）。发生分解时，表面的各种聚合物将会分解为其原始 单体 或者其他分解产物。即使在进行 等离子清洗 和 蚀刻 时，也会解聚为单体状态。分解产物与 活性种 （ 工艺气体 ）发生反应产生挥发性 分子。