六氟化硫

六氟化硫 (SF₆) 在正常条件下是一种完全惰性气体，但是其作为 工艺气体 采用 等离子体 中会形成反应性极强的氟原子和硫氟化物自由基，故此其为一种最具腐蚀性的等离子体工艺气体（请参见 四氟甲烷）。