六氟化硫

六氟化硫 (SF6) 在正常条件下是一种完全惰性气体,但是其作为 工艺气体 采用 等离子体 中会形成反应性极强的氟原子和硫氟化物自由基,故此其为一种最具腐蚀性的等离子体工艺气体(请参见 四氟甲烷)。

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