前体物

(英文:Precursor)化学反应的原始物质。在 等离子体技术 中,气体或液态物质在蒸发器内转换为气相。在 等离子体腔室 中所形成的 工艺气体,其通过 等离子体 激发、电离或者分裂为 自由基 ,并借此具有极强的反应性。前体物作为蚀刻气体或者作为 等离子体聚合 的原始物质将会由此变得具有活性。

回到詞彙表

+49 (0)7458 99931-0

与我们的专家通话

info@plasma.com

请写下您的需求

索取报价

您清楚地知道您想要什么