前体物

（英文：Precursor）化学反应的原始物质。在 等离子体技术 中，气体或液态物质在蒸发器内转换为气相。在 等离子体腔室 中所形成的 工艺气体，其通过 等离子体 激发、电离或者分裂为 自由基 ，并借此具有极强的反应性。前体物作为蚀刻气体或者作为 等离子体聚合 的原始物质将会由此变得具有活性。