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前体物

(英文:Precursor)化学反应的原始物质。在 等离子体技术 中,气体或液态物质在蒸发器内转换为气相。在 等离子体腔室 中所形成的 工艺气体,其通过 等离子体 激发、电离或者分裂为 自由基 ,并借此具有极强的反应性。前体物作为蚀刻气体或者作为 等离子体聚合 的原始物质将会由此变得具有活性。

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