等离子体所发挥作用的统称：在 等离子体 中会产生以下作用：
- 激发的 原子、自由基和 离子，因其具有较高的化学反应性，故此会在等离子体中与基材表面发生剧烈反应。
正由于存在这种效应，故此可以进行等离子蚀刻、 等离子清洗、 等离子体聚合。 - 离子因其带有电荷，故此可在电场中被加速，还因为其具有较高的动能，所以能够实现原子级别的喷砂处理。
正是由于存在这种效应，故此可通过 微喷砂 进行等离子清洗和等离子蚀刻，并且还可通过 离子蚀刻实现各向异性的蚀刻效果。 - 特别是，可在等离子体中通过离子和电子之间的碰撞产生高能量的紫外线辐射。此 紫外线辐射 会导致 分子 分裂，故此主要用于形成自由基，这是等离子体所有化学反应的前提条件。
