Tetra 2800

低压等离子设备(等离子清洗器)

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生产设备 Tetra 2800-LF-PC 具有 2800 升的腔室容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

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技术数据

开关柜

  • 集成:宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm

真空腔室

  • ∅ 1200 mm,深 2500 mm

腔室容积

  •  约 2800 升

气体供给

  • 通过 MFC 控制的 3 个气体通道

发生器

  • 可提供所有常用的等离子频率

控制系统

  • 配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

+49 7458 99931-0

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