吸附

一种物相的粒子（分子）附着在固体表面上。粒子通过 物理吸附 和 化学吸附 机理得以保留，其中化学吸附会产生更强的结合能。只有当这些相可以直接接触时才可以在表面上进行吸附，为此必须特别去除分离的中间层。 超精细清洗 使用等离子体来实现，可为此提供最佳选项。通过 等离子蚀刻 和 等离子活化 可以加强吸附，通过使用合适的涂层进行 等离子涂覆 可以防止吸附。这有别于 吸收。吸收是指将一种物相的粒子嵌入到另一种物相的体积中。